興味ある研究 (98/07/28)

--------------------------------------------------------------- イオンビームと固体／薄膜の相互作用によるビームプロセッシング --------------------------------------------------------------- --------------------------------------------------------------- １．イオンビーム分析技術　（非破壊定量分析） 　　　　　　ラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ）、反跳元素分析法(ERDA)、 　　　　　　核反応法（NRA）等 --------------------------------------------------------------- ２．イオンビーム照射技術 　　　　　　ビームアニーリング、イオンビームミキシング、応力緩和等 --------------------------------------------------------------- ３．イオン注入技術 　　　　　　不純物ドーピング、埋め込み層形成、ナノ微粒子形成等 ---------------------------------------------------------------

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