研究トピックス (98/07/28)

１．金属、半導体等の無機薄膜のイオンビーム結晶成長現象--------------------------------------------------------------- 　高エネルギーイオンビームと薄膜試料との相互作用 --------------------------------------------------------------- ２．イオン注入による酸化物中の酸化物微粒子の形成--------------------------------------------------------------- イオン注入と熱処理による酸化物微粒子形成 --------------------------------------------------------------- ３．中性子発生源としての重水素化チタン薄膜の作製--------------------------------------------------------------- 　シリコン基板上の重水素化チタン薄膜の表面 バーの長さ、１μｍ ---------------------------------------------------------------

ホームはこちらへ

トップページへ