イオンビームとプラズマの複合場を利用した表層改質技術

　炭化珪素、炭素材料を中心に、これらの表面に新たな機械的、化学的機能を付与することを目的にして、イオンビームとプラズマを照射することによってこれらの表層に引き起こされる組成・構造の変化を調べ、これらの表層構造を制御するための基礎的な研究を行っている。