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イオン注入技術による固体中微粒子生成に関する研究


 本研究は、イオン注入技術によって固体中に微粒子を生成させる技術について、生成した微粒子のサイズや分布・構造・組成の制御に必要な技術要素を解明し、微粒子の生成によって新たに生まれる固体表面の光学的・電磁気的・化学的・機械的諸特性の変化を明らかにすることを目的に行うものである。
 固体中に微粒子を生成・分散させることにより、非線形光学特性を応用した光(電子)デバイスや発光素子、電磁気的特性を応用したマイクロエレクトロニクス素子や高密度記憶素子、化学的特性を応用した触媒や生体親和性材料、機械的特性を応用した耐磨耗性材料や高硬度材料等の新規開発に利用できると考えられる。