（２）イオンビーム注入による表面の機械的特性の向上
　摩耗測定、AFMによる微小摩耗測定、ヴィッカース硬度、圧子圧入法による表面微小硬度等、表面の機械的特性の測定結果と、共鳴核反応法(NRA)、ラザフォード 後方散乱分析法(RBS),反跳粒子検出法(ERD),オージェ電子分光法(AES)等により測定した元素組成の深さ方向分布ならびにＸ線光電子分光法(XPS)による化学結合状態、薄膜Ｘ線回折(G-XRD)による結晶構造解析の結果との関係を調べている。

（３）イオン−固体相互作用の電算機シミュレーション
　動的モンテカルロシミュレーションコードdynamic-SASAMALを開発し、これを用いて、高線量イオンビーム注入時における元素組成分布の注入線量による変化を詳細に調べ、実験結果と比較検討している。

（２） ヘリウムイオンの共鳴後方散乱を利用した酸素の深さ分析
試料ホルダーに印加したバイアス電圧を変化させる手法を、入射イオンのエネルギー制御に適用しすることで、高精度の測定を可能にした。

（３）15N(p,αγ)12C共鳴核反応(NRA)を利用した窒素の深さ分析。
　15Nと15Nの注入を適宜組合わせて行い、15N の分布を調べることで、各注入段階における窒素の挙動を調べている。

（４） 反跳原子測定法(ERD)、あるいは15N(p,αγ)12C共鳴核反応による水素の深さ分析。

（５） 重イオンRBS法による質量分解能の向上。